Precision meets Intelligence

유체 시스템 솔루션 공급업체

반도체 제조 수율의 한계를 넘는 지능형 유체 플랫폼, 플루엑스 입니다.

Focused Domain

왜 가스 공급 라인인가?
수율의 성패는 여기서 갈립니다.

반도체 장비 중 가스 공급 라인은 가장 고도화된 정밀성이 요구되는 영역입니다. 고진공, 초고순도 유체 제어 환경에서 발생하는 미세한 결함은 곧바로 천문학적인 손실로 이어집니다.

200
Risk Per Valve

국내 반도체 A 제조사 밸브파손시 손실액

ALD 공정의 기술적 한계

ALD(원자층 증착) 공정은 원자 단위 분사를 위해 초정밀 응답 속도가 필수입니다. 밸브 응답 시간이 단 3ms(0.003초)만 틀어져도 박막 품질이 붕괴되어 수십 억의 웨이퍼 손실(Scrap)을 야기합니다.

Response Time Shift

튜브 길이, 온도, 압력 등 복합 변수로 인한 밀리초 단위 오차 발생

Human-Level Control Limit

수천 개의 밸브를 실시간 수동 계산하고 제어하는 것은 불가능

ALD Valve Response Variance (AI Detection)

실시간 AI 알고리즘이 3ms 오차를 사전에 탐지하여 고장을 예측합니다.

Paradigm Shift

정기 점검(PM)에서 예측 유지관리(PdM)로

막연한 주기에 따른 부품 교체는 비용 낭비와 불필요한 다운타임을 초래합니다.
플루엑스는 AI 솔루션을 결합하여 부품의 상태를 실시간으로 읽고 예측합니다.

Preventive (PM) Predictive (PdM)

전통적 유지보수 비용 곡선

과잉 부품 교체 리스크

잔여 수명이 남은 부품도 정해진 주기에 따라 강제 폐기되어 비용이 낭비됩니다.

예기치 못한 다운타임

정기 점검 직후에 발생하는 갑작스러운 고장에 대응할 수 없습니다.

AI Core Benefits

AI 예지보전 도입으로 얻는 실질적 가치

단순한 감시를 넘어 공정의 지능화를 실현합니다.

실시간 모니터링 및 성능 예측

효과

AI 알고리즘(FFT 분석 등)을 통해 작동 파형을 실시간 분석, 응답 시간이 임계치(1ms)를 벗어나기 전 미리 감지합니다.

가치

고장이 나기 전 "성능 저하" 상태를 사전에 경고하여 불량 발생을 원천 차단합니다.

복합 변수 최적화 (Intelligence 제어)

효과

온도, 압력, 사용 횟수 등 복합 데이터를 학습한 AI가 현재 밸브의 최적 작동 조건을 실시간으로 찾아냅니다.

가치

단순 개폐를 넘어 외부 환경 변화에 맞춰 최상의 응답 속도를 유지하도록 제어 명령을 스스로 보정합니다.

유지보수 패러다임의 혁신

효과

"일정 시간이 지났으니 교체한다"는 막연한 방식에서 "데이터가 지시하는 시점"에 리빌드하는 방식으로 전환합니다.

가치

부품의 조기 폐기를 방지하여 원가를 절감하고, 갑작스러운 다운타임을 제거하여 가동률을 극대화합니다.

Strategic Process

Gas ReFactorying

우리는 단순한 수리를 넘어서는 '엔지니어링 리빌드'를 수행합니다.
이 과정은 자사의 신뢰도 높은 고객의 기술 수요를 충족하도록 지원하고 있습니다.

Engineering Rebuild

신품 대비 50~70% 수준의 비용으로 100% 성능을 복원하며 제조 원가 혁신을 실현합니다.

Data Assetization

리빌드 공정 중 확보된 실물 고장/마모 데이터셋은 플루엑스 PdM 알고리즘의 강력한 원천이 됩니다.

Clients

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