IGS Module 유로 아키텍처

기존 센서 FluEx 신규 센서
1. Gas Inlets
2. Hand Valves
3. Regulators
4. PT
5. Filters
AIR ACTUATOR
6. Primary Gas
Delivery Valve
7. MFC
8. Secondary
Valve
Gas Flow Direction
증착 두께 최적화

Chamber 내 불안정한 가스 공급량을 조절하여 증착 두께 불량을 사전 방지 (고장 주기 예측)

필터 수명 예지

Filter의 차압 성능 저하 추이를 AI로 분석하여 소모품 교체 시점 최적화 (PdM)

이상 거동 탐지

Creep, Overshoot, Hysteresis 등 미세 데이터를 모니터링하여 장비 컨디션 정밀 진단

다이어그램 위의 센서 포인트를
클릭하여 상세 정보를 확인하세요.

AI Data Flow

01
Raw Data Collection
압력, 유량, 온도 실시간 수집
02
FFT & Noise Filtering
신호 주파수 변환 및 특징 추출
03
AI PdM Inference
고장 주기 예측 및 제어 보정