글로벌 기업 협업 프로그램 NVIDIA 프로그램에 선정되었습니다

– '글로벌기업 협업프로그램' 엔비디아 트랙 선정, 스크러버용 엣지 AI 'FluEx ARIA' 현장 실증 추진

– 기존 설비 교체 없이 실시간 전류 최적화

반도체 공정설비 AX 전문기업 주식회사 플루엑스(대표 문기혁)가 '2026년 글로벌기업 협업프로그램' 엔비디아 협업 트랙(엔업 프로그램)에 선정됐다고 밝혔다. 플루엑스는 주관기관 노틸러스인베스트먼트와 함께 반도체 배기가스 처리설비용 엣지 AI 플랫폼 'FluEx ARIA(플루엑스 아리아)'의 사업화에 속도를 낸다.

반도체 식각·증착 공정에서는 지구온난화지수가 이산화탄소의 수천 배가 넘는 과불화화합물(PFC) 가스가 나온다. 이를 분해하는 스크러버는 팹 한 곳에 수천 대가 설치된다. 하지만 대부분은 공정 조건이 바뀌어도 처음 정한 전류로 운전돼, 배출이 적을 때는 전력을 낭비하고 많을 때는 처리효율이 떨어진다.

FluEx ARIA는 가스 분석 센서의 실시간 농도를 읽고, 스크러버에 맞는 전류값을 계산해 제어기에 보낸다. 처리효율 95% 이상 유지를 목표로 하면서 불필요한 전류를 줄이는 방식이다. 기존 PLC·센서·스크러버를 그대로 둔 채 위에 얹는 애드온 구조여서 설비를 바꾸거나 라인을 멈출 필요가 없다. 제어값 계산은 물리 엔진이 맡고 AI는 설비 상태 해석과 이상 판단을 도와, AI 단독 제어의 불확실성을 줄였다.

모든 추론은 NVIDIA Jetson 기반 전용 장치 'FluEx ARIA AI EDGE' 안에서 끝난다. 공정 데이터가 팹 밖으로 나가지 않아 반도체 업계의 보안 요구에 맞고, 클라우드를 거치지 않아 응답이 빠르다. 플루엑스는 이번 프로그램에서 엔비디아 TensorRT 등 엣지 AI 기술로 추론을 최적화하고, 실증용 장치를 완성해 국내 반도체 현장에서 PoC를 진행할 계획이다.

플루엑스는 2026년 4월 NVIDIA Inception 프로그램에 합류했고, 중소벤처기업부 중소기업 기술개발(R&D) 과제에도 선정됐다. 국내 반도체 기업과 파일럿 의향을 받았고, 또한 최근 대만 대리점과 사전 계약을 체결해 해외 판로도 열었다. 핵심 기술은 특허9건으로 출원했다.

플루엑스는 실증 결과를 고객별 성과 리포트로 정리해 유료 전환과 스크러버 제조사(OEM) 번들 공급을 추진하고, 반도체 강국인 한국을 시작으로 해외 반도체 거점으로 넓혀 갈 계획이다.

문기혁 플루엑스 대표는 "반도체 팹의 스크러버는 수천 대가 쉬지 않고 돌지만, 대부분 공정 변화와 상관없이 같은 전류로 운전된다"며 "엔비디아의 엣지 AI 기술을 바탕으로, 설비를 바꾸지 않고도 필요한 만큼만 전력을 쓰는 스크러버 운전을 현장에서 증명하겠다"고 말했다.