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DRAWINGFEM · CONTACT

Valve design intelligence · OWL Bridge

만들기 전에
아는 설계.

OWL Bridge는 반도체 공정용 밸브를 위한 설계 해석입니다. 밸브 도면 한 장으로 시중 제품과 비교하고, 2D 도면에서 3D 형상을 만들어 FEM·CFD 해석으로 성능과 수명을 미리 봅니다.

사례 보기
반도체 공정용 밸브2D 도면 → 3DFEM · CFD벤치마크 비교

Why it matters

시료를 만들기 전에
답을 압니다

반도체 공정용 밸브 하나를 고치려면 시료를 만들고 수십만 회 개폐 시험을 돌리는 일이 몇 번씩 되풀이됩니다. 그때마다 시간과 비용이 듭니다. OWL Bridge는 그 되풀이를 도면 단계에서 줄입니다.

01

Time & cost

시험 차수를
줄입니다

기술
2D 도면에서 3D 형상을 만들고, FEM·CFD로 성능과 수명을 미리 봅니다.
고객
문제가 될 형상을 시료 전에 걸러, 시료 제작과 시험을 되풀이하는 횟수와 개발 기간을 줄입니다.
02

Root cause

불량의 원인을
근거로 설명합니다

기술
시트 접촉압과 유동, 떨어진 조각의 경로로 파티클이 생기는 곳과 늘어나는 경향을 짚습니다.
고객
밸브 파티클·리크 같은 불량의 원인과 대책을 추측이 아니라 해석 근거로 정리해, 고객사 품질 대응과 보고에 씁니다.
03

Benchmark

대체 밸브가 원품만큼
되는지 미리 봅니다

기술
시중 밸브와 같은 조건으로 비교하는 벤치마크 기준을 씁니다.
고객
국산화·대체 밸브를 들이기 전에 원품과의 성능 차이를 확인해, 공급망 위험과 승인 부담을 줄입니다.
DESIGN밸브 설계 · 제조시료 전에 형상을 검증하고 시험 차수를 줄임
REPAIR밸브 리페어 · 국산화원품과의 차이를 숫자와 그림으로 설명
QUALITY품질 · 고객 대응밸브 불량 원인과 대책을 정리한 해석 보고서
FAB팹 설비 엔지니어교체 밸브의 성능과 수명을 판단할 근거

The old way vs OWL Bridge

시제품을 만들어 보기 전에
도면에서 거릅니다

밸브의 성능은 지금도 대개 만들어 보고, 시험해 보고, 고쳐서 압니다. OWL Bridge는 그 반복의 앞단을 해석으로 옮깁니다.

기존 방식OWL Bridge
검증 시점
시제품을 만들어 보고 고침문제는 시료가 나온 뒤 시험에서 드러납니다. 한 바퀴에 몇 주가 걸립니다.
도면 단계에서 해석으로 미리 거름2D 도면에서 3D 형상을 만들고, 해석으로 약한 곳을 먼저 찾습니다.
원인 찾기
시험 결과가 나와야 원인을 짐작무엇이 문제였는지 다음 시료로 다시 확인해야 합니다.
해석이 원인을 짚고 결과를 예측원인을 물리로 설명하고, 다음 시료가 어떻게 나올지 먼저 내놓습니다.
비교 기준
경험과 감좋은 설계인지 판단하는 기준이 사람마다 다릅니다.
시중 제품과 같은 잣대로벤치마크 데이터와 나란히 놓고, 어디가 앞서고 어디가 모자란지 봅니다.

How it works

도면 한 장에서
보완 제안까지

도면을 올리면 다섯 단계를 거쳐, 시중 제품과 비교한 결과와 무엇을 고치면 좋을지가 돌아옵니다.

  1. 012D 도면가지고 있는 밸브 도면 한 장으로 시작합니다.
  2. 023D 형상 생성도면을 읽어 해석할 수 있는 3D 형상을 만듭니다.
  3. 03FEM · CFD 해석접촉압, 변형, 유동, 입자 경로를 계산합니다.
  4. 04벤치마크 비교같은 조건의 시중 밸브 데이터와 나란히 놓습니다.
  5. 05보완 제안약한 곳과 고칠 방향을 근거와 함께 정리합니다.

What the analysis shows

시험 전에 보는 세 장면

닫혔을 때 시트가 어떻게 눌리는지, 열렸을 때 유체가 어디로 빠르게 흐르는지, 떨어진 조각이 어디로 가는지를 봅니다.

한쪽으로 몰린 압력 낮음높음
FEM · 닫힌 상태시트 접촉압 분포시트가 고르게 눌리는지, 압력이 한쪽이나 모서리로 몰리는지 봅니다.
입구 →→ 출구디스크 낮음높음
CFD · 열린 상태유동열린 틈에서 유속이 얼마나 빨라지는지, 흐름이 고이는 곳은 없는지 봅니다.
입구 →→ 출구● 갇히는 조각● 빠져나가는 조각○ 떨어지는 곳
CFD · 입자 경로입자 경로시트에서 떨어진 조각이 빠져나가는지, 어딘가에 갇혀 쌓이는지 따라갑니다.

그림은 해석 결과의 생김새를 보여 주는 개념도입니다. 실제 밸브의 형상이나 결과가 아닙니다.

Case · 2026.10 · ALD valve seat

시험보다 먼저,
해석이 답했습니다.

반도체 ALD 공정 밸브의 시트를 바꾼 뒤, 개폐를 거듭할수록 파티클이 늘었습니다. OWL Bridge는 FEM·CFD 해석으로 원인 두 가지(시트의 기울기, 모서리에 몰리는 압력)를 짚고, 모서리를 바꾼 다음 시료의 결과를 시험 전에 내놓았습니다.

ALD 밸브 시트 파티클 해석반도체 공정용 밸브 리페어 · 3차·4차 시료 · 2026.10

예측과 실측

3차 시험 · 10.02해석 보고서 · 10.184차 시험 · 10.19 파티클은 개폐 뒤 1회째 측정, 0.1 µm 이상 합입니다. 4차는 시료 1개의 결과입니다.

30만 회 파티클

792 → 0개

3차 → 4차 시료 · 예측: 3차보다 크게 준다

Cv 변화 (0 → 30만 회)

−0.3%

4차 시료 · 30만 회까지 기준 안

30만 회 높이 감소

3차의 약 ⅓

시트가 홈 안으로 덜 가라앉았습니다

3차 시험 현상 대 해석

7 / 7 맞음

맞음 5 · 방향 맞음 2 (해석 보정에 쓴 값·해석으로 가를 수 없는 값 2건 제외)

개폐 횟수별 파티클 (1회째 측정)

  • 3차 시료 (모서리 변경 전)
  • 4차 시료 (모서리 변경 후)
개폐 횟수별 파티클 표
시점3차4차
0회0개33개
15만 회101개48개
30만 회792개0개

시험 전 예측 (10.18) 대 4차 실측 (10.19)

해석이 4차 시험 하루 전에 내놓은 예측을 그대로 옮겼습니다.

항목예측실측판정
후반 파티클 (30만 회)3차보다 크게 준다. 시험 중 기울기가 커지지 않으면 한 자릿수0개 (3차 792개)✓ 맞음
초반 파티클 (0~15만 회)남을 수 있다. 둥근 모서리는 처음 닫힐 때 더 미끄러진다0회 33개, 15만 회 48개. 2·3회째는 거의 0✓ 맞음
Cv시트가 높아져 틈이 좁아지면 내려간다. 행정 설정으로 기준 안에 맞춘다기준 안. 30만 회까지 −0.3%✓ 맞음

5차 제안조립 높이와 4점 높이 편차를 맞춥니다

4차는 조립 높이가 원제품보다 조금 낮았고, 시트 꼭대기 네 점의 높이도 고르지 않았습니다. 5차는 바디마다 홈 깊이를 재고 시트 치수를 맞춰 조립 높이를 원제품 수준으로 올리고, 4점 높이 편차를 지금의 약 6분의 1 이하로 맞춥니다. 높이를 맞추면 Cv는 약 3% 줄어 약 0.40으로 기준(0.39) 안에 듭니다 (해석 예측, 실측 아님).

시트 꼭대기 4점 높이 원제품 높이 5차 목표 · 편차 약 1/6 4차 #1#2#3#4 Cv · 약 −3% 기준 0.39 0.414 약 0.40 4차 실측5차 예측

해석은 파티클이 생기는 곳, 나오는 모양, 늘어나는 경향을 맞추며 개수를 맞추지는 않습니다. 다르게 나온 값은 모델을 다시 맞추는 데 썼습니다. 고객사·제조사·모델·치수는 싣지 않았습니다.

Open method, closed drawings

방법은 공개하고,
도면은 지킵니다

어떻게 평가하는지는 누구나 확인할 수 있게 열어 두고, 맡겨 주신 도면은 해석에만 씁니다.

What we publish

공개하는 것

  • 평가 방법어떤 해석을 어떤 순서와 조건으로 하는지
  • 벤치마크 DB시중 밸브를 비교하는 기준과 데이터
  • 검증 결과공개된 실측값을 해석으로 다시 계산해 맞춰 본 결과

How drawings are kept

도면 보안 원칙

  • 해석에만 씀맡겨 주신 도면은 그 해석에만 씁니다.
  • 학습에 쓰지 않음도면은 어떤 모델의 학습에도 쓰지 않습니다.

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