국제반도체장비재료협회(SEMI) 정회원사로 가입했습니다

반도체 배기가스 처리 설비용 엣지 AI 'FluEx ARIA', 반도체 밸브 설계 해석 'OWL Bridge'를 SEMI 국제 표준에 맞춰 고도화합니다. 글로벌 기업 협업 프로그램(NVIDIA 분야) 선정에 이어 SEMI 가입으로 글로벌 반도체 공급망 네트워크를 확보했습니다.

반도체 공정설비 AX 전문기업 플루엑스(FluEx)가 국제반도체장비재료협회(SEMI) 정회원사로 가입했습니다.

SEMI는 1970년 설립된 반도체 협력 기구로, 미국 캘리포니아 실리콘밸리에 본부를 두고 있습니다. 국내 대기업인 삼성전자·SK하이닉스를 비롯해 전 세계 2,400여 개 회원사가 활동하고 있습니다. SEMI는 반도체 장비·소재의 국제 표준(SEMI Standards)을 제정하고, 세계 최대 반도체 전시회인 SEMICON을 주관합니다. 회원사는 표준 제정 활동과 글로벌 시장 정보, 각국 SEMICON을 통한 고객·파트너 네트워크에 참여할 수 있습니다.

플루엑스는 이번 가입으로 SEMI 국제 표준에 맞춰 자사 기술을 고도화하고, 글로벌 진출을 위한 네트워크를 구축합니다.

#FluEx ARIA

플루엑스의 대표 제품 FluEx ARIA(아리아)는 반도체 배기가스 처리 설비(스크러버)를 위한 엣지 AI 플랫폼입니다. 공정에서 들어오는 가스 농도를 실시간으로 읽어, 처리효율 목표 95% 이상을 지키는 데 필요한 만큼만 전력을 쓰도록 스크러버를 제어합니다.

반도체 공정가스(PFC)는 이산화탄소보다 수천~수만 배 강한 온실가스입니다. ARIA는 처리 성능을 지키면서 과잉 전력을 줄여 공정가스 직접 배출(스코프 1)과 전력 사용(스코프 2)을 함께 줄입니다. 플루엑스는 SEMI 장비 통신 표준(SECS/GEM 등)에 맞춰 ARIA가 팹의 다양한 장비·시스템과 바로 연동되도록 고도화할 예정입니다. ARIA는 중소벤처기업부 중소기업 기술개발(R&D) 과제에도 선정되어 개발 중입니다.

#OWL Bridge

OWL Bridge(오울브릿지)는 반도체 공정용 밸브를 위한 설계 해석 플랫폼입니다. 밸브 도면 한 장으로 2D 도면에서 3D 형상을 만들고, 구조(FEM)·유동(CFD) 해석으로 성능과 수명을 시제품 제작 전에 미리 확인합니다. 같은 조건으로 시중 제품과 비교하는 벤치마크 기능이 있어, 국산화·대체 밸브가 원품만큼 성능을 내는지 사전에 검증할 수 있습니다.

플루엑스는 반도체 가스 공급 부품에 관한 SEMI 표준을 OWL Bridge의 해석·평가 기준에 반영해, 국내외 밸브 제조사와 팹이 공통으로 쓸 수 있는 설계 검증 도구로 키울 계획입니다.

#글로벌 네트워크

플루엑스는 올해 글로벌 기업 협업 프로그램의 NVIDIA 분야 과제에도 선정되어, FluEx ARIA의 실시간 추론 구조를 GPU 기반으로 고도화하고 현장 실증을 준비하고 있습니다. 글로벌 AI 기업과의 협업에 이어 이번 SEMI 가입으로 글로벌 반도체 공급망 네트워크까지 확보했습니다.

플루엑스 문기혁 대표는 "SEMI 정회원사로서 국제 표준에 맞춘 제품으로 국내 팹을 넘어 해외 고객과 만나겠다"며 "측정하고, 보정하고, 판단하는(Measure. Calibrate. Decide.) 플루엑스의 기술로 반도체 공정설비의 에너지와 품질 문제를 풀어 가겠다"고 말했습니다.